简介：

    JSM-7600F是兼顾冷场的高分辨率和热场大束流为一体的热场发射扫描电镜，最大200nA的大电流在保证高分辨率的同时，得到高速样品分析结果，空间分辨率极高，对导电性差的样品也可以测试。

系统配置：

    1.电子光学系统：包括电子枪、电磁透镜和扫描线圈

    2.选区成分分析系统：赛默飞世尔Noran system 7 X射线能谱仪一套

技术参数：

    1.分辨率：1.0nm（15KV）/1.5nm（1KV）

    2.加速电压：0.1KV～30KV

    3.放大倍数：25～100万倍

主要功能：

    用于膜层及体相材料表面微观形貌，尺寸的观察，及选区中元素的组成，含量的定量分析